А100636-КХ Д 18 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 : 3.60 р. Рубрики: Пленки тонкие--Осаждение Электронно-ионная технология Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
962161-КХ К 43 Киреев, Валерий Юрьевич. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; вып. 36). - Библиогр.: с. 121-125. - ISBN 5-ПЛ-И-ИО-КИ : 00.35 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Травление Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |