А5779-КХ Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] / И. Броудай, Дж. Мерей ; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 494 с. : ил. - Библиогр.: с. 465-483. - ISBN 5-ФИ-ОС-МИ-БР : 02.60 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |