963462-КХ Б 82 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [Текст] : [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 319 с. : ил. - Библиогр.: с. 318-319 (37 назв. ). - ISBN 5-ТЕ-ОБ-ДЛ-БО : 1 р. Загл. корешка : Производство микроэлектронных устройств Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебные издания Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |