952947-КХ Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.). - ISBN 5-ОП-ОС-БЕ-82 : 00.30 р. Рубрики: Фотолитография Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Никитин, Аркадий Викторович; Сурис, Роберт Арнольдович Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |