915507-КХ Ш 58 Шиллер, Зигфрид. Электронно-лучевая технология [Текст] / З. Шиллер, У. Гайзиг, З. Панцер ; пер. с нем. В. П. Цишевского ; авт. предисл. Б. Е. Патона. - Москва : Энергия, 1980. - 528 с. : ил. - Библиогр.: с. 476-523. - ISBN 5-ЭЛ-ЛУ-ТЕ-ШИ : 2.40 р. Рубрики: Электронно-лучевая обработка Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Гайзиг, Ульрих; Панцер, Зигфрид; Цишевский, В. П. \пер.\; Патон, Б. Е. \авт. предисл.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
994355-КХ Э 45 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот [и др.]; под ред. Дж. Р. Брюэра, пер. с англ., под. ред. Ф. П. Пресса. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - Библиогр.: с. 316-328. - ISBN 5-ЭЛ-ЛУ-ТЕ-84 : 1.90 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Электронно-лучевая обработка Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Брюэр, Дж. Р.; Гринич, Д. С.; Херриот, Д. Р.; Брюэр, Дж. Р. \ред.\; Пресс, Ф. П. \пер., ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |