А118847-КХ Ч-68 Чистые помещения [Текст] / Хаякава Ития и др.; под ред. И. Хаякава, В. Г. Ржанова и др. - Москва : Мир, 1990. - 454 с. : ил. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - ISBN 5-03-000363-0 : 4.20 р. Рубрики: Чистые производственные помещения Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Хаякава Ития; Хаякава Ития \ред.\; Ржанов, В. Г. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |