А1455-КХ В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - ISBN 5-ФИ-ОС-СУ-ВА : 2.80 р. Рубрики: Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
726579-КХ Ф 81 Фотолитография и оптика [Текст] : науч. изд. / Я. А. Федотов [и др.] ; под ред.: Я. А. Федотова, Г. Поля. - Москва : Сов. радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - Списки лит. в конце глав. - ISBN 5-ФО-ОП-ПО-74 : 1.57 р. Авт. указаны на 5-й с. Рубрики: Фотолитография Полупроводниковые приборы--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Федотов, Я. А.; Волцит, В. В.; Рубцов, И. Н.; и др.; Федотов, Я. А. \ред.\; Поль, Г. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
952947-КХ Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.). - ISBN 5-ОП-ОС-БЕ-82 : 00.30 р. Рубрики: Фотолитография Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Никитин, Аркадий Викторович; Сурис, Роберт Арнольдович Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |