726579-КХ
   37.8
   Ф 81


   
    Фотолитография и оптика [Текст] : науч. изд. / Я. А. Федотов [и др.] ; под ред.: Я. А. Федотова, Г. Поля. - Москва : Сов. радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - Списки лит. в конце глав. - ISBN 5-ФО-ОП-ПО-74 : 1.57 р.
Авт. указаны на 5-й с.
ББК 37.831.01 + 32.852-06
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковые приборы--Производство


Держатели документа:
ООПБ

Доп.точки доступа:
Федотов, Я. А.; Волцит, В. В.; Рубцов, И. Н.; и др.; Федотов, Я. А. \ред.\; Поль, Г. \ред.\
Экземпляры всего: 1
КХ (1)
Свободны: КХ (1)

716515-АБ, 716516-КХ
   32.85
   Б 89


    Брук, Вадим Аркадьевич.
    Производство полупроводниковых приборов [Текст] : [учебник для подготовки рабочих на производстве] / В. А. Брук, В. В. Гаршенин, А. И. Курносов. - Изд. 3-е, перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1973. - 264 с. : ил. - (Профтехобразование. Полупроводники). - ISBN 5-ПР-ПО-БР-73 : 0.54 р.
ББК 32.852-06я72
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Учебные издания для повышения квалификации

Держатели документа:
ООПБ

Доп.точки доступа:
Гаршенин, Владимир Васильевич; Курносов, Анатолий Иванович
Экземпляры всего: 2
АБ (1), КХ (1)
Свободны: АБ (1), КХ (1)