А100636-КХ Д 18 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 : 3.60 р. Рубрики: Пленки тонкие--Осаждение Электронно-ионная технология Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |