А118847-КХ Ч-68 Чистые помещения [Текст] / Хаякава Ития и др.; под ред. И. Хаякава, В. Г. Ржанова и др. - Москва : Мир, 1990. - 454 с. : ил. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - ISBN 5-03-000363-0 : 4.20 р. Рубрики: Чистые производственные помещения Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Хаякава Ития; Хаякава Ития \ред.\; Ржанов, В. Г. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
963462-КХ Б 82 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [Текст] : [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 319 с. : ил. - Библиогр.: с. 318-319 (37 назв. ). - ISBN 5-ТЕ-ОБ-ДЛ-БО : 1 р. Загл. корешка : Производство микроэлектронных устройств Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебные издания Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А5779-КХ Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] / И. Броудай, Дж. Мерей ; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 494 с. : ил. - Библиогр.: с. 465-483. - ISBN 5-ФИ-ОС-МИ-БР : 02.60 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А1455-КХ В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - ISBN 5-ФИ-ОС-СУ-ВА : 2.80 р. Рубрики: Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А51136-КХ В 58 Власов, Владимир Евгеньевич. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры [Текст] / В. Е. Власов, В. П. Захаров, А. И. Коробов. - М. : Радио и связь, 1987. - 156, [1] с. - ISBN 5-СИ-ТЕ-ОБ-ВЛ : 55.00 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Качество Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Захаров, Вадим Петрович; Коробов, А. И. Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А100636-КХ Д 18 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 : 3.60 р. Рубрики: Пленки тонкие--Осаждение Электронно-ионная технология Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А9531-КХ Д 18 Данилин, Валентин Николаевич. Аналоговые полупроводниковые интегральные схемы СВЧ [Текст] / В. Н. Данилин, А. И. Кушниренко, Г. В. Петров. - М. : Радио и связь, 1985. - 193 с. : ил. - Библиогр.: с. 187-192. - ISBN 5-АН-ПО-ИН-ДА : 00.70 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Электроника сверхвысоких частот Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Кушниренко, А. И.; Петров, Г. В. Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А145619-ПТО М 20 Малышева, Идея Александровна. Технология производства интегральных микросхем [Текст] : [учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 2002 "Производство изделий электрон. техники"] / И. А. Малышева. - Изд. 2-е перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 343, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 338 (16 назв.). - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 р. Загл. 1-го изд.: Технология производства микроэлектронных устройств Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебники и пособия Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 ПТО (1) Свободны: ПТО (1) |
А118253-КХ Р 86 Румак, Николай Владимирович. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике [Текст] / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; АН БССР, Физ.-техн. ин-т. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3 : 1.40 р. Рубрики: Диэлектрические пленки--Получение МДП-структуры Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Хатько, Вячеслав Владимирович; Борисенко, В. Е. \ред.\; АН БССР, Физ.-техн. ин-т Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А58292-КХ У 25 Углов, Александр Алексеевич. Адгезионная способность пленок [Текст] / А. А. Углов, Л. М. Анищенко, С. Е. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1987. - 101, [2] с. : ил. - (Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр.: с. 100-102 (62 назв.). - ISBN 5-АД-СП-ПЛ-УГ : 0.40 р. Рубрики: Полупроводниковые пленки--Нанесение на подложку Полупроводниковые пленки--Адгезия к полимерам Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Анищенко, Лев Михайлович; Кузнецов, С. Е. Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
994355-КХ Э 45 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот [и др.]; под ред. Дж. Р. Брюэра, пер. с англ., под. ред. Ф. П. Пресса. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - Библиогр.: с. 316-328. - ISBN 5-ЭЛ-ЛУ-ТЕ-84 : 1.90 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство Электронно-лучевая обработка Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Брюэр, Дж. Р.; Гринич, Д. С.; Херриот, Д. Р.; Брюэр, Дж. Р. \ред.\; Пресс, Ф. П. \пер., ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |
А155827-ПТО Б 48 Березин, Андрей Сергеевич. Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : [Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" и "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"] / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. - Москва : Радио и связь, 1992. - 319 [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 316-317 (20 назв.). - ISBN 5-256-01014-X : 00.00 Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебные издания для высших учебных заведений Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Мочалкина, Ольга Романовна Экземпляры всего: 1 ПТО (1) Свободны: ПТО (1) |
967957-ПТО Б 48 Березин, Андрей Сергеевич. Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : [Учеб. пособие для вузов] / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; под ред. И. П. Степаненко. - Москва : Радио и связь, 1983. - 232 с. : ил. - Библиогр.: с. 227 (27 назв.). - Предм. указ.: с. 228-229. - ISBN 5-ТЕ-КО-БЕ-83 : 00.80 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебные издания для высших учебных заведений Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Мочалкина, Ольга Романовна; Степаненко, И. П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ПТО (1) Свободны: ПТО (1) |
А117209-ОПЛ В 36 Верховский, Евгений Ильич. Лазерная технология в производстве интегральных микросхем [] : [учебное пособие для ПТУ] / Е. И. Верховский. - Москва : Высшая школа, 1990. - 54, [2] с. : ил. ; 21. - ISBN 5-06-001078-3 : 0.10 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебные издания для начального профессионального образования Микроэлектронные схемы интегральные--Лазерная обработка--Учебные издания для начального профессионального образования Аннотация: В книге изложены процессы лазерной технологии, нашедшие применение в производстве изделий электронной техники. Рассмотрены лазерное технологическое оборудование, сварка, резка материалов лазерным лучом, лазерная доводка, осаждение тонких пленок, отжиг, перекристаллизация и др. Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 ОПЛ (1) Свободны: ОПЛ (1) |