1. 
| 981711-КХ
22.37
Р 54
Рисел, Х.
Ионная имплантация [Текст] : научное издание / Х. Рисел, И. Руге ; пер. с нем.: В. В. Климов, В. Н. Пальянов ; ред. М. И. Гусева. - Москва : Наука, 1983. - 360 с. : ил. - Библиогр.: с. 345-360. - ISBN 5-ИО-ИМ-РИ-83 : 4.50 р.ББК 22.379.2
Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное
Держатели документа:
ООПБ
Доп.точки доступа:
Руге, И.; Климов, В. В. \пер.\; Пальянов, В. Н. \пер.\; Гусева, М. И. \ред.\
Экземпляры всего: 1
КХ (1)
Свободны: КХ (1)
Найти похожие
|
Главная
Описание
Электронный каталог
Стандартный