Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/Б 82 Автор(ы) : Борисенко, Александр Сергеевич, Бавыкин, Николай Иванович Заглавие : Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] Выходные данные : М.: Машиностроение, 1983 Колич.характеристики :319 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 318-319 (37 назв. ). - Загл. корешка : Производство микроэлектронных устройств ISBN, Цена 5-ТЕ-ОБ-ДЛ-БО: 1 р. ББК : 32.844.15-06я723-1 Предметные рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные-- Производство Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович