Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/Д 44 Заглавие : Диагностика микроэлектронных структур Выходные данные : Москва: Наука, 1993 Колич.характеристики :110 с.: ил. Серия: Труды ФТИАН; т. 5 ISBN, Цена 5-02-006981-7: 120.00 р. ББК : 32.844.15я54 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Афанасьев, А. М. \ред.\