Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 32.844/А 46 Автор(ы) : Александрова, Ольга Анатольевна Заглавие : Введение в технологию материалов микроэлектроники: учебник для вузов : в 3 частях/ О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева. Ч. 3: Эпитаксиальный рост Выходные данные : Санкт-Петербург: Лань, 2023 Колич.характеристики :212 с.: рис., табл., граф. Серия: Высшее образование Примечания : Библиогр.: с. 207-209 ISBN, Цена 978-5-507-45481-5: 1360.70 р. ББК : 32.844.1я73-1 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры :АБ(1) Свободны : АБ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Лебедев, Андрей Олегович; Мараева, Евгения Владимировна