Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/В 36 Автор(ы) : Верховский, Евгений Ильич Заглавие : Лазерная технология в производстве интегральных микросхем : [учебное пособие для ПТУ] Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1990 Колич.характеристики :54, [2] с.: ил.; 21 ISBN, Цена 5-06-001078-3: 0.10 р. ББК : 32.844.1-06я722 Предметные рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные-- Производство Микроэлектронные схемы интегральные-- Лазерная обработка Аннотация: В книге изложены процессы лазерной технологии, нашедшие применение в производстве изделий электронной техники. Рассмотрены лазерное технологическое оборудование, сварка, резка материалов лазерным лучом, лазерная доводка, осаждение тонких пленок, отжиг, перекристаллизация и др. Экземпляры :ОПЛ(1) Свободны : ОПЛ(1) Держатели документа: ООПБ