Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/Б 51 Автор(ы) : Берри Р., Гаррис М., Холл П. Заглавие : Тонкопленочная технология Выходные данные : Москва: Энергия, 1972 Колич.характеристики :336 с.: ил; 21 Перевод издания: Berry Robert W. Thin film technology/ Robert W. Berry, Peter M. Hall, Murray T. Harris Примечания : Список лит.: с. 329-335. - Перед загл. авт.: Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис. - На обороте тит. л.: Robert W. Berry, Peter M. Hall and Murray T. Harris. Thin film technology ISBN, Цена 5-ТО-ТЕ-БЕ-72: 1.50 р. ББК : 32.844.15-060.7 Предметные рубрики: Пленки тонкие-- Получение Микроэлектронные схемы, интегральные-- Производство Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Гаррис, М.; Холл, П.; Генкин, В. И. \пер.\; Гиваргизов, Е. И. \пер.\; Berry, Robert W. ; Hall, Peter M. ; Harris, Murray T.