Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/П 78 Заглавие : Проблемы микроэлектронной технологии Выходные данные : М.: Наука, 1994 Колич.характеристики :126 с Серия: Труды ФТИАН/ Рос. АН, Физ.-технол. ин-т; Т. 8 ISBN, Цена 5-02-007030-0: 900.00 р. ББК : 32.844.1я54 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Великов, Л. В. \ред.\