Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 22.37/Э 47 Заглавие : Эллипсометрия - метод исследования поверхности : [сб. ст.] Выходные данные : Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1983 Колич.характеристики :179 с.: ил. Коллективы : АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников Примечания : Библиогр. в конце ст. ISBN, Цена 5-ЭЛ-МЕ-ИС-ПО: 3 р. ББК : 22.371.25я43 Предметные рубрики: Эллипсометрия Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Ржанов, А. В. \отв. ред.\; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников