Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 22.37/Э 47 Заглавие : Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения : сб. науч. тр. Выходные данные : Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1991 Колич.характеристики :251, [1] с.: ил. Коллективы : АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников Примечания : Библиогр. в конце ст. ISBN, Цена 5-02-029916-2: 5.30 р. ББК : 22.371.25 Предметные рубрики: Эллипсометрия Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Свиташев, К. К. \отв. ред.\; Мардежов, А. С. \отв. ред.\; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников