Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/Х 22 Автор(ы) : Харченко, Валерий Владимирович Заглавие : Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем Выходные данные : Ташкент: Фан, 1989 Колич.характеристики :167, [1] с.: ил. Коллективы : АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения Примечания : Библиогр.: с. 157-166 ISBN, Цена 5-648-00390-0: 2.10 р. ББК : 32.844.1-3 + 32.843.3 Предметные рубрики: Кремний-- Осаждение из газовой фазы Полупроводниковые пленки-- Выращивание Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения