Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/Р 86 Автор(ы) : Румак, Николай Владимирович, Хатько, Вячеслав Владимирович Заглавие : Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике Выходные данные : Минск: Навука i тэхнiка, 1990 Колич.характеристики :190, [1] с.: ил. Коллективы : АН БССР, Физ.-техн. ин-т Примечания : Библиогр.: с. 181-189 ISBN, Цена 5-343-00540-3: 1.40 р. ББК : 32.844.13 Предметные рубрики: Диэлектрические пленки-- Получение МДП-структуры Микроэлектронные схемы интегральные-- Производство Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Хатько, Вячеслав Владимирович; Борисенко, В. Е. \ред.\; АН БССР, Физ.-техн. ин-т