Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 22.37/Р 54 Автор(ы) : Рисел Х., Руге И. Заглавие : Ионная имплантация : научное издание Выходные данные : Москва: Наука, 1983 Колич.характеристики :360 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 345-360 ISBN, Цена 5-ИО-ИМ-РИ-83: 4.50 р. ББК : 22.379.2 Предметные рубрики: Полупроводники-- Легирование ионное Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Руге, И.; Климов, В. В. \пер.\; Пальянов, В. Н. \пер.\; Гусева, М. И. \ред.\