Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/А 46 Автор(ы) : Александров, Владимир Кузьмич Заглавие : Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации Выходные данные : Минск: Наука и техника, 1983 Колич.характеристики :72 с ISBN, Цена 5-ША-К-МИ-АЛ: 15.00 р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры :ЧЗ(1) Свободны : ЧЗ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Пилипович, В. А. \ред.\