Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844/А 22 Заглавие : Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов Выходные данные : Москва: Высш. шк., 1991 Колич.характеристики :334 с ISBN, Цена 5-06-000731-6: 1.60 р. ББК : 32.844-06 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры : всего : АБ(3), ЧЗ(1) Свободны : АБ(3), ЧЗ(1) Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Сазонов, А. А. \ред.\