А314979-Ф-АБ А 46 Александрова, Ольга Анатольевна Введение в технологию материалов микроэлектроники [Текст] : учебник для вузов : в 3 частях / О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева. - Санкт-Петербург : Лань, 2023. - ISBN 978-5-507-45478-5. Ч. 2 : Основы технологий разделения и очистки. - 2023. - 214 с. : рис., табл., граф. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 209-211 (55 назв.). - 30 экз.. - ISBN 978-5-507-45480-8 : 1360.70 р. Рубрики: Микроэлектроника--Учебники для высших учебных заведений Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Лебедев, Андрей Олегович; Мараева, Евгения Владимировна Экземпляры всего: 1 АБ (1) Свободны: АБ (1) |