920220-КХ С 56 Современные проблемы эллипсометрии [Текст] : [сб. ст.] / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. А. В. Ржанов. - Новосибирск : Наука. Сиб. отделение, 1980. - 192 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-СО-ПР-ЭЛ-80 : 2.40 р. Рубрики: Эллипсометрия--Сборники Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Ржанов, Анатолий Васильевич \ред.\; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |