981711-КХ Р 54 Рисел, Х. Ионная имплантация [Текст] : научное издание / Х. Рисел, И. Руге ; пер. с нем.: В. В. Климов, В. Н. Пальянов ; ред. М. И. Гусева. - Москва : Наука, 1983. - 360 с. : ил. - Библиогр.: с. 345-360. - ISBN 5-ИО-ИМ-РИ-83 : 4.50 р. Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Руге, И.; Климов, В. В. \пер.\; Пальянов, В. Н. \пер.\; Гусева, М. И. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |