982840-ЧЗ А 46 Александров, Владимир Кузьмич. Шаги к микроразмерам [Текст] : методы микроминиатюризации / В. К. Александров ; под ред. В. А. Пилиповича. - Минск : Наука и техника, 1983. - 72 с. - ISBN 5-ША-К-МИ-АЛ : 15.00 р. Рубрики: Микроэлектроника Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Пилипович, В. А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |