Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Афонин С. М. Заглавие : Расчет статистических данных и динамических характеристик пьезодвигателя наноперемещений Место публикации : Вестник машиностроения. - 2009. - N 4. - С. 3-6. (Шифр В10/2009/4) ББК : 34 Предметные рубрики: Машиностроение-- Конструирование-- Расчет Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): конструирование--расчет--нанотехнология--надежность машин--пьезодвигатель--испытание машин Аннотация: Рассчитаны статистические и динамические характеристики пьезодвигателя наноперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, определено влияние физических и геометрических параметров пьезодвигателя на статические и динамические характеристики.